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RWS 單臂晶圓機器人

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特征

軟硬件垂直整合優勢，并且采用高精密，高剛性直驅馬達，重復精度達±0.1mm，回轉半徑小，空間使用率高。


應用

適用于半導體產業(晶圓取放)、光電產業(小型面板、小型太陽能板)、LED產業(藍寶石基板、膠環)等取放設備。


晶圓機器人

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